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ASM 390 和 ASM 392氦質(zhì)譜檢漏儀 是優(yōu)秀的泄漏檢測(cè)解決方案，可用于半導(dǎo)體 和顯示器產(chǎn)業(yè)以及其他要求很高的應(yīng)用，這些應(yīng)用需要快速的抽空 時(shí)間和高靈敏度。兩種型號(hào)都符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)。